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北方華創(chuàng)Al Pad PVD成功進(jìn)駐上海集成電路研發(fā)中心

2018-03-14 13:40  來源:證券日報網(wǎng) 王楊

    2018年3月13日,北方華創(chuàng)再傳捷報,由北方華創(chuàng)下屬子公司北方華創(chuàng)微電子自主開發(fā)的AlPadPVD成功進(jìn)駐上海集成電路研發(fā)中心。

    北方華創(chuàng)微電子AlPadPVD設(shè)備主要應(yīng)用于90-14nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的BondPad和AlInterconnect工藝,設(shè)備突破了大產(chǎn)能傳輸平臺、高溫靜電卡盤、先進(jìn)磁控濺射源等一系列關(guān)鍵技術(shù),解決了厚鋁粘片、晶須缺陷等世界性技術(shù)難題,設(shè)備綜合性能達(dá)到國際領(lǐng)先水平,得到業(yè)內(nèi)廣泛認(rèn)可。客戶遍及Logic、DRAM、Norflash、3DNAND、FPD等領(lǐng)域,并且已成為多家集成電路制造企業(yè)的Baseline設(shè)備。AlPadPVD設(shè)備良好的用戶口碑和客戶端穩(wěn)定量產(chǎn)的卓越表現(xiàn),為其贏得了國內(nèi)外知名廠商的肯定和好評。同時,該設(shè)備也憑借優(yōu)異的機(jī)臺表現(xiàn)和廣泛的市場認(rèn)可榮獲了首屆集成電路產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟創(chuàng)新獎。

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