“工欲善其事，必先利其器。”半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)亦如此：沒有能加工出人頭發(fā)絲幾千分之一到上萬(wàn)分之一尺度的半導(dǎo)體設(shè)備，就無(wú)法造出芯片。

    “信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)是集成電路和各種微觀器件（包括芯片等）。隨著微觀器件越來(lái)越小，研發(fā)和制造高端微觀加工設(shè)備，在人頭發(fā)絲直徑的幾千分之一到上萬(wàn)分之一的尺度上，加工復(fù)雜的微觀器件，成為最重要的、最關(guān)鍵的、最卡脖子的核心產(chǎn)業(yè)。中微公司以自主創(chuàng)新和獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)開發(fā)的等離子體刻蝕機(jī)已在國(guó)內(nèi)外眾多客戶生產(chǎn)線廣泛應(yīng)用，并核準(zhǔn)加工14納米、7納米和5納米的最先進(jìn)器件。同時(shí)，公司自主研發(fā)的制造氮化鎵基LED外延片的MOCVD關(guān)鍵設(shè)備，在眾多的LED生產(chǎn)線上已成為市場(chǎng)首選設(shè)備。相關(guān)產(chǎn)品均面臨了市場(chǎng)機(jī)會(huì)和繼續(xù)快速增長(zhǎng)的空間。”中微公司董事長(zhǎng)及總經(jīng)理尹志堯在此前路演時(shí)介紹說(shuō)。

    7月22日，科創(chuàng)板鳴鑼開市，中微公司本次定價(jià)及未來(lái)表現(xiàn)是近期熱議話題，安信證券研究中心總經(jīng)理助理諸海濱接受證券時(shí)報(bào)記者采訪時(shí)認(rèn)為，中微公司是我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)中，極少數(shù)能與全球頂尖設(shè)備公司直接競(jìng)爭(zhēng)并不斷擴(kuò)大市場(chǎng)占有率的公司，是業(yè)界公認(rèn)的后起之秀。有稀缺性加上高成長(zhǎng)的預(yù)期，所以市場(chǎng)給出百億級(jí)別估值；未來(lái)主要關(guān)注業(yè)績(jī)能否保持高增長(zhǎng)勢(shì)頭從而對(duì)公司估值形成有力支撐。

    方寸間近乎極限的操作

    無(wú)論是上個(gè)世紀(jì)90年代的“909工程”，還是2000年之后上海張江的集成電路產(chǎn)業(yè)爆發(fā)，每一代芯片人都身負(fù)理想、躊躇滿志，由尹志堯領(lǐng)銜的中微公司創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)亦如是。

    時(shí)間回?fù)苤?004年，在美國(guó)半導(dǎo)體領(lǐng)域已闖蕩20年的尹志堯帶領(lǐng)了一支全球化團(tuán)隊(duì)回國(guó)創(chuàng)業(yè)；尹志堯本人在上世紀(jì)80年代曾前往加州大學(xué)洛杉磯分校留學(xué)，并獲得物理化學(xué)博士學(xué)位；1984年至2004年，他先后在英特爾、泛林半導(dǎo)體和應(yīng)用材料擔(dān)任要職；目前，尹志堯是89項(xiàng)美國(guó)專利和200多項(xiàng)其他海內(nèi)外專利的主要發(fā)明人。中微公司的其他聯(lián)合創(chuàng)始人、核心技術(shù)人員中還包括杜志游、倪圖強(qiáng)、麥?zhǔn)肆x等在國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)耕耘數(shù)十年的頂尖專家。

    在集成電路產(chǎn)業(yè)中，先進(jìn)集成電路大規(guī)模生產(chǎn)線的投資可達(dá)100億美元，75%以上是半導(dǎo)體設(shè)備投資，而光刻機(jī)、等離子體刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備是集成電路前道生產(chǎn)工藝中最重要、最大宗的三類設(shè)備，該市場(chǎng)一直主要由國(guó)外廠商主導(dǎo)，行業(yè)高度壟斷，技術(shù)壁壘明顯。成立伊始，中微公司就將目光瞄準(zhǔn)了等離子體刻蝕設(shè)備領(lǐng)域。

    何謂刻蝕？是用化學(xué)或物理方法有選擇地在硅片及外延材料表面去除不需要的材料的過(guò)程，這些化學(xué)物理反應(yīng)在硅片上開槽打洞，形成令人嘆為觀止的微觀結(jié)構(gòu)。“一塊指甲蓋大小的芯片可集成幾十億個(gè)晶體管。這種微觀器件領(lǐng)域方寸間近乎極限的操作，對(duì)刻蝕機(jī)的控制精度提出極高要求。”上海本地半導(dǎo)體制造業(yè)內(nèi)人士向證券時(shí)報(bào)記者談道。

    2007年，中微公司首臺(tái)CCP刻蝕設(shè)備產(chǎn)品PrimoD-RIE研制成功，由此邁開追趕國(guó)際先進(jìn)水平的步伐。轉(zhuǎn)眼2015年，美國(guó)商務(wù)部宣布解除對(duì)我國(guó)等離子體刻蝕設(shè)備多年的出口管制，原因就在于中微公司已開發(fā)出了與美國(guó)設(shè)備公司具有同等質(zhì)量和相當(dāng)數(shù)量的等離子體刻蝕設(shè)備并實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)。

    多次知識(shí)產(chǎn)權(quán)訴訟

    從未失敗

    中微公司在薄膜沉積設(shè)備亦開始發(fā)力。2010年，中微公司開始研發(fā)用于LED器件加工中最關(guān)鍵的設(shè)備——MOCVD；2017年，公司設(shè)備逐步打破了維易科和愛思強(qiáng)兩家國(guó)際知名企業(yè)的壟斷。

    崛起之路并非坦途，更何況競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手均為老牌國(guó)際巨頭。截至2018年末，中微公司曾涉及四起海內(nèi)外知識(shí)產(chǎn)權(quán)訴訟案件，涵蓋兩件專利案件和兩件商業(yè)機(jī)密案件，最終公司未嘗敗績(jī)，在訴訟中均達(dá)成和解或勝訴。這一結(jié)果與中微公司歷來(lái)在研發(fā)保持高投入密不可分。2016年-2018年公司累計(jì)研發(fā)投入10.37億元，約占營(yíng)業(yè)收入的32%。

    如今，中微公司經(jīng)過(guò)15年的發(fā)展，公司等離子體刻蝕設(shè)備已在國(guó)際一線客戶（主要為晶圓廠）從65納米到14納米、7納米和5納米的集成電路加工制造及先進(jìn)封裝中有具體應(yīng)用。同時(shí)，公司的MOCVD設(shè)備在行業(yè)領(lǐng)先客戶的生產(chǎn)線上大規(guī)模投入量產(chǎn)，已成為世界排名前列、國(guó)內(nèi)占領(lǐng)先地位的氮化鎵基LEDMOCVD設(shè)備制造商。

    技術(shù)的突破和產(chǎn)品量產(chǎn)化正轉(zhuǎn)化為效益。中微公司2016年至2018年?duì)I業(yè)收入分別為6.1億元、9.72億元、16.39億元；歸母凈利潤(rùn)分別為-2.39億元、2991.87萬(wàn)元、9086.92萬(wàn)元。同時(shí)，公司預(yù)計(jì)2019年1~6月實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入7.2~8.6億元，同比增長(zhǎng)55%~85%；預(yù)計(jì)實(shí)現(xiàn)扣非后歸母凈利潤(rùn)為2200~2600萬(wàn)元，較去年同期的-4801.28萬(wàn)元由負(fù)轉(zhuǎn)正。

    談及刻蝕設(shè)備增長(zhǎng)潛力，諸海濱認(rèn)為，中微公司的刻蝕設(shè)備雖然在銷售規(guī)模上離巨頭們有一定差距，但其部分技術(shù)水平和應(yīng)用領(lǐng)域已達(dá)到國(guó)際同類產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)，產(chǎn)品也正獲得更多下游客戶認(rèn)可。2019年上半年預(yù)告扭虧轉(zhuǎn)盈就是一個(gè)好信號(hào)，未來(lái)市場(chǎng)份額有望進(jìn)一步提升。

    未來(lái)十年力爭(zhēng)成為

    國(guó)際一流半導(dǎo)體設(shè)備公司

    苦練內(nèi)功之際，中微公司也正計(jì)劃借助資本市場(chǎng)取得更快速發(fā)展。從3月29日科創(chuàng)板上市申請(qǐng)獲受理，到7月1日注冊(cè)生效，中微公司歷時(shí)僅93天，并成為25家科創(chuàng)板首批上市公司之一。

    對(duì)于國(guó)內(nèi)硬核科技企業(yè)的代表，資本市場(chǎng)給出了高估值：發(fā)行價(jià)29.01元/股，對(duì)應(yīng)PE為170.75倍，對(duì)應(yīng)PS為9.47倍。

    對(duì)于上述定價(jià)結(jié)果，不乏估值是否過(guò)高的爭(zhēng)議。多位受訪機(jī)構(gòu)人士對(duì)證券時(shí)報(bào)記者給出了解讀。諸海濱認(rèn)為，中微公司正處于高研發(fā)、高成長(zhǎng)階段，刻蝕設(shè)備、MOCVD后續(xù)均需大量研發(fā)投入以突破更先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)等，因此銷售收入增長(zhǎng)速度相對(duì)而言能更好反映公司價(jià)值，所以PS比PE更適合對(duì)公司進(jìn)行估值。而本次發(fā)行價(jià)對(duì)應(yīng)的2019年動(dòng)態(tài)PS和PE水平與A股可比公司估值基本相當(dāng)。

    在一位曾參與詢價(jià)的上海本地機(jī)構(gòu)人士看來(lái)，中微公司高估值主要基于兩點(diǎn)，一是稀缺性，二是高成長(zhǎng)預(yù)期，按多家機(jī)構(gòu)預(yù)測(cè)，2019年公司扣非前凈利潤(rùn)增速仍將在100%以上。“公司研發(fā)實(shí)力突出，市場(chǎng)預(yù)期也很高，但并非沒有風(fēng)險(xiǎn)，未來(lái)公司能否保持長(zhǎng)期的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，下游晶圓廠和LED芯片制造商擴(kuò)產(chǎn)是否符合預(yù)期等情況都需要進(jìn)一步跟蹤。”該機(jī)構(gòu)人士同時(shí)指出。

    在獲得資本市場(chǎng)百億級(jí)估值后，未來(lái)目標(biāo)在何處？中微公司認(rèn)為，公司將圍繞自身核心競(jìng)爭(zhēng)力，通過(guò)自主創(chuàng)新、有機(jī)生長(zhǎng)，結(jié)合適當(dāng)?shù)募娌⑹召?gòu)策略，不斷推動(dòng)企業(yè)健康發(fā)展，力爭(zhēng)在未來(lái)十年內(nèi)發(fā)展成為國(guó)際一流的半導(dǎo)體設(shè)備公司。